Hệ thống thổi ion khử tĩnh điện SIMCO 5635M MP

Công nghệ xung được điều chế với khả năng điều chỉnh rộng & ion hóa ISO 14644-12

Thanh ion hóa Simco-Ion Model Model 5635M được thiết kế đặc biệt để loại bỏ điện tích tĩnh trong chất bán dẫn và các quy trình sản xuất siêu sạch khác trong đó thời gian phóng nhanh, điện áp xoay thấp và cân bằng chính xác là không được phép, nhưng bề mặt kim loại tiếp xúc không được phép. Model 5635M sử dụng công nghệ MP, kết hợp sóng hình sin tần số cao với các xung được điều chế (MP) để cung cấp và phân phối ion cao. Công nghệ đột phá này cho phép lắp đặt AeroBar trong phạm vi 150 mm của wafer. Công nghệ MP, kết hợp với các điểm phát silicon siêu sạch và điều chỉnh độ chính xác, cung cấp độ ion hóa ISO 14644-12 (0,01 hạt hoặc hạt nano) và độ sạch ISO 14644 Class 1 (hạt 0,1 0,1m), rất quan trọng đối với các nút công nghệ nhỏ hơn.

• Sự ion hóa ISO 14644-12 (0,01 hạt)
• Độ sạch của ISO 14644 Class 1 (0,1 hạt)
• Công nghệ xung điều biến
• Thiết kế không có kim loại
• Đồng nhất bên tuyệt vời
• Điện áp trường thấp
• Khả năng hỗ trợ không khí
• Phần mềm tùy chọn với giao diện dễ sử dụng với khả năng điều chỉnh rộng
• Tín hiệu đầu ra báo động

THÔNG SỐ KỸ THUẬT

• Điện áp đầu vào: 24 VDC ± 10%
• Cân bằng: Hệ thống cân bằng tự động <± 20V theo thời gian và trên suốt chiều dài thanh (được đo trong môi trường được kiểm soát ở khoảng cách 24)
• Công nghệ: xung điều chế phát xạ ion (MP)
• Điểm phát xạ: Điểm phát xạ silicon đơn tinh thể
• Độ sạch: đáp ứng ISO 14644-12 (0,01 hạt hoặc hạt nano) và ISO 14644 Loại 1 (hạt 0,1 0,1) sử dụng 45-50%
• Khung xe: bằng nhựa ABS (tấm tiếp đất – ABS chứa đầy carbon)
• Kích thước: 3,1H x 1,3W x 18/24/34/39/45/51/57/63/69/75/81/87 / 93L trong.
  (78H x 34W x 450/600/850/1000/1150/13/14/50/16/1750 /
  1900/2050/2200 / 2350L mm)