Hệ thống thổi ion khử tĩnh điện SIMCO 5635 MP

Công nghệ xung được điều chế với khả năng điều chỉnh rộng & ion hóa ISO 14644-12

Thanh ion hóa điều chế xung AeroBar 5635 của Simco-Ion được thiết kế đặc biệt để loại bỏ điện tích tĩnh trong chất bán dẫn và các quy trình sản xuất siêu sạch khác khi cần thời gian phóng nhanh, điện áp xoay thấp và cân bằng chính xác. Model 5635 sử dụng công nghệ MP, kết hợp sóng hình sin tần số cao với các xung được điều chế (MP) để cung cấp và phân phối ion cao. Công nghệ đột phá này cho phép lắp đặt AeroBar trong phạm vi 150 mm của wafer. Công nghệ MP, kết hợp với các điểm phát silicon siêu sạch và điều chỉnh độ chính xác, cung cấp độ ion hóa ISO 14644-12 (0,01 hạt hoặc hạt nano) và độ sạch ISO 14644 Class 1 (hạt 0,1 0,1m), rất quan trọng đối với các nút công nghệ nhỏ hơn.

• Sự ion hóa ISO 14644-12 (0,01 hạt)
• Độ sạch của ISO 14644 Class 1 (0,1 hạt)
• Công nghệ xung điều biến
• Đồng nhất bên tuyệt vời
• Điện áp trường thấp
• Khả năng hỗ trợ không khí
• Phần mềm tùy chọn với giao diện dễ sử dụng với khả năng điều chỉnh rộng
• Tín hiệu đầu ra báo động

Thông số kỹ thuật

• Điện áp đầu vào: 24 VDC ± 10%
• Cân bằng Hệ thống cân bằng tự động: <± 20V theo thời gian và trên suốt chiều dài thanh (được đo trong môi trường được kiểm soát ở khoảng cách 24)
• Công nghệ: xung điều chế phát xạ ion (MP)
• Điểm phát xạ: Điểm phát xạ silicon đơn tinh thể
• Sạch sẽ: Đáp ứng ion hóa ISO 14644-12 (hạt 0,01 mm hoặc hạt nano) và ISO 14644 Loại 1 (hạt 0,1 mm) sử dụng điện áp đầu ra 45-50%
• Kích thước: 3,1H x 1,3W x 18/24/34/39/45/51/57/63/69/75/81/87 / 93L trong.
  (78H x 34W x 450/600/850/1000/1150/13/14/50/16/1750 /
  1900/2050/2200 / 2350L mm)